„A légpárásítás stabil tényezővé vált minőségbiztosításunkban, mind a gyártásunk ESD-védelme, mind pedig a munkatársaink beltéri klímával való elégedettsége szempontjából.”
A tisztatéri környezet szabályozása
A félvezetők és gyártási folyamataik rendkívül érzékenyek a páratartalomra. A nem megfelelő, túlzott vagy ingadozó páratartalom károsodásokhoz és hibákhoz vezet. A helyiség levegőjének teljes körű szabályozása elengedhetetlen.
Az optimális feltételek fenntartása
Minden félvezető-gyártási folyamatot szigorúan ellenőrizni kell, ezért ezek szinte mindig tisztatéri környezetben zajlanak. A páratartalom pontos szabályozása a beállított értékhez képest, valamint a hosszú távú stabilitás alapvető követelmény.
A meghibásodások minimalizálása
A félvezetőgyártás bármely szakaszában bekövetkező hiba rendkívül költséges lehet. A páratartalom szabályozása elengedhetetlen az állandó és reprodukálható gyártási környezet biztosításához.
Abszolút minőség
A félvezetőipar a legmagasabb minőségű termékekre, anyagokra és folyamatokra támaszkodik. A páratartalom-szabályozás ebben döntő tényező.
Páratartalom-szabályozás a félvezetőgyártásban
A fotorezs méretváltozásának megakadályozása
A fotorez a félvezetőgyártás fotolitográfiai folyamatában használt fényérzékeny anyag. Fő célja, hogy komplex áramköri mintákat vigyen át egy szilíciumlapkára, ami elengedhetetlen az integrált áramkörök és mikrochipek gyártásához. Ezeket gyakran „nyomvonalaknak” nevezik. Mivel a mérések nanométeres tartományban történnek, abszolút pontosságra van szükség. Rendkívül szigorú szabványok vonatkoznak a hőmérséklet- és páratartalom-szabályozásra, mivel a fotorezist alakjának vagy méretének bármilyen változása tönkretenné a félvezetőt.
Párásítás – az ESD kiküszöbölésének ideális megoldása
Az ESD akkor lép fel, amikor két elektromosan feltöltött tárgy érintkezésbe kerül egymással, és hirtelen áramlás indul be. Ha különböző töltésű tárgyak érintkeznek egymással, vagy ha a köztük lévő dielektrikum áttörik, látható szikra keletkezhet. Ez károsítja a félvezetőt, és biztonsági kockázatot jelenthet a berendezés működése szempontjából. A légpárásítók nedvességet adnak a levegőhöz, amely természetes vezetőként szolgál az elektromos töltések elvezetésére. Ha a relatív páratartalom 45 % alá csökken – amit statikus küszöbértéknek is neveznek –, ez a védelem megszűnik, és a munkavállalók szokásos tevékenységei is oda vezethetnek, hogy tárgyak elektrosztatikus kisülések következtében megsérüljenek.
Jobb beltéri levegőminőség és nagyobb kényelem a munkavállalók számára
A párásítás és a hőmérséklet-szabályozás döntő fontosságú a munkavállalók egészsége és elégedettsége szempontjából. Az elégedett, egészséges munkavállalók termelékenyebbek. A Condair adiabatikus légpárásítást kínál, amely nemcsak a párásításról gondoskodik, hanem költséghatékony és hatékony módon hozzájárul a beltéri hőmérséklet csökkentéséhez is.
Egyedi folyamatokra szabott megoldások
A gyártási folyamatok és követelmények a világ különböző részein a változó környezeti feltételek miatt jelentősen eltérhetnek egymástól. Ezért elengedhetetlenül fontos olyan partnerrel együttműködni, amely széles körű megoldásportfólióval rendelkezik, és amely képes az egyes alkalmazások igényeihez pontosan igazodó megoldásokat kínálni. Különleges követelmény a szabályozási tűrés, amely gyakran elsősorban a páratartalom időbeli stabilitására vonatkozik. Lehet, hogy van egy időállandó, amelyen belül az ingadozások megengedettek. Ez például +/- 2 % relatív páratartalom lehet 45 perces időtartam alatt, ami azt jelenti, hogy a folyamat a beállított értéktől + 2 % relatív páratartalomig, majd vissza a beállított értékhez, onnan lefelé - 2 % relatív páratartalomig, majd vissza a beállított értékhez nem haladhatja meg a 45 percet. A Condair számos megoldást kínál az ultraprecíz szabályozást igénylő alkalmazásokhoz, köztük párásítók, párátlanítók és fordított ozmózisú vízkezelő rendszerek széles választékát.
Alkalmazási példák
Antisztatikus és ESD-védelem
Az alacsony páratartalom növeli a statikus feltöltődést, mivel a száraz levegő szigetelő hatást fejt ki, és így növeli az elektrosztatikus kisülések (ESD) valószínűségét. A 40–60 %-os relatív páratartalom segít a feltöltődések elvezetésében, és jelentősen csökkenti az ESD-kockázatot.
A megbízható működés egy szabályozott környezettel kezdődik
A páratartalom ingadozásai statikus feltöltődéshez, az anyagok deformálódásához és az érzékeny berendezések idő előtti kopásához vezethetnek – mindez pedig költséges leállásokat eredményez. Az állandó páratartalom fenntartásával mind a gépek, mind az általuk feldolgozott anyagok védelmet élveznek, ami zökkenőmentesebb gyártást, kevesebb megszakítást és maximális üzemidőt biztosít.
Beltéri párolgásos hűtés légnedvesítéssel
Az adiabatikus párolgásos hűtés kiegészítő légnedvesítéssel csökkenti a helyiség hőmérsékletét, energiát takarít meg és javítja a beltéri klímát – ideális megoldás ipari létesítmények, irodák és adatközpontok számára.
Ismerje meg a Condair működését
Asteelflash Hersfeld GmbH, Bad Hersfeld (Németország)
Az elektrosztatikus kisülések elleni védelem, a minőségbiztosítás és a munkavállalók egészségének védelme érdekében Asteelflash a nyomtatott áramköri lapok összeszerelése során párásító rendszereket alkalmaz.
Ügyfeleink mondták
„A közvetlen beltéri párásítás jelentősen hozzájárul gyártási folyamataink optimalizálásához, ugyanakkor rendkívül pozitív hatással van munkatársaink jólétére és egészségére is.”
Gyakran feltett kérdések
Miért fontos a páratartalom szabályozása a félvezetőgyártásban?
Mi az ideális páratartalom a félvezetőipari környezetben?
Milyen hatással van a páratartalom-szabályozás a tisztatéri szabványokra?
Milyen tűréshatárok érhetők el a pontos páratartalom-szabályozás során?
Milyen típusú párásítók és párátlanítók alkalmasak a félvezető-gyártó berendezésekhez?
Ez is érdekelheti
Condair RS
Ellenállásos gőz-légpárásító vízkőkezelésselAz egyedülálló vízkőkezelő rendszer működés közben eltávolítja a gőzhengerből a kicsapódott ásványi anyagokat, és azokat automatikusan a kijelölt vízkőgyűjtő tartályba vezeti. Így a keletkező vízkőlerakódások folyamatosan eltávolításra kerülnek a gőzhengerből.
DRAABE légpárásító rendszer
Közvetlen helyiséglevegő-párásítás nagynyomású rendszerrelIdeális utólagos felszereléshez bármilyen méretű helyiségben, teljes körű karbantartási szolgáltatással
Condair ESCO
Sűrített gőz elosztó rendszerA Condair ESCO nyomás alatti gőzelosztó rendszer hatékonyan juttatja el a központi gőzhálózatból származó száraz, higiénikus gőzt a légcsatornákba vagy a szellőzőberendezésekbe. Precíz kerámia forgószelepekkel (0–100 %-os moduláció), belső fúvókákkal a telített gőz kondenzátummentes elosztásához a légcsatornában, előmelegítés nélküli gyors reagálással, valamint akár 1 000 kg/h teljesítménnyel és 4 bar nyomásig rendelkezik.
Condair DL
Hibrid légnedvesítőA Condair DL teljes fejlesztése a lehető legmagasabb szintű higiéniai biztonságra irányult. A konstrukciós részletek megelőző hatással bírnak, és megakadályozzák a baktériumok ellenőrizhetetlen szaporodását a párásító egészében.
A HygienePlus® eljárás gondoskodik az egészséges levegőről és a tartós higiénéről.
A Condair DL a Condair Dual2 továbbfejlesztése, amely a legsikeresebb adiabatikus párásító rendszer. Higiéniai minősége a gyakorlatban is bevált, és független, közfelelősséggel rendelkező szervezetek által igazolták és díjazták.
Vegye fel velünk a kapcsolatot
Örömmel várjuk üzenetét és a Condair megoldásokkal kapcsolatos kéréseit.
Itt további információkat talál, illetve közvetlenül felveheti a kapcsolatot a régiójában illetékes Condair-kapcsolattartókkal.
További információk vagy kérdések?
Itt találja a kapcsolatfelvételi űrlapunkat
Közvetlen kapcsolat a Condair tanácsadóval
Itt megtalálja a Condair kapcsolattartóit az Ön régiójában